詳細(xì)概述高純氣體管道施工
隨著我國(guó)半導(dǎo)體、制芯業(yè)的發(fā)展，高純氣體管道的應(yīng)用也越來越廣，像半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都是不同程度的使用了，因此它的施工對(duì)于我們來說也越來越重要。
適用范圍
本工藝主要適用于電子、半導(dǎo)體廠房的氣體管道安裝、測(cè)試，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時(shí)也適用于醫(yī)藥、食品等廠房的潔凈管道施工。
主要施工要點(diǎn)
（一）施工前的準(zhǔn)備
1、組織勞動(dòng)力，準(zhǔn)備施工中使用的機(jī)具、設(shè)備。
2、搭建預(yù)制間，潔凈度1000。
3、施工圖分析，根據(jù)工程特點(diǎn)及實(shí)際情況編制施工方案，做好技術(shù)交底。
（二）管道預(yù)制
1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作量，保障潔凈度，所以管道的施工先在1000的預(yù)制間中預(yù)制，施工人員應(yīng)穿潔凈服，使用的工機(jī)具應(yīng)保障潔凈，另外施工人員應(yīng)有較強(qiáng)的潔凈意識(shí)，施工過程盡量減少對(duì)管子的污染。
2、管道的下料管道下料使用的是切管工具，切出的端面和管軸心線垂直，切管時(shí)應(yīng)采取措施以免外界的灰塵、空氣對(duì)管子里面的污染，下好的料應(yīng)分組編號(hào)以便于組對(duì)焊接。
3、管道焊接，管道焊接前應(yīng)先編制焊接程序輸入到自動(dòng)焊機(jī)，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進(jìn)行完一整天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數(shù)一直儲(chǔ)存在焊機(jī)里，自動(dòng)焊機(jī)焊接時(shí)又很穩(wěn)定，所以焊縫質(zhì)量也是合格的。焊接質(zhì)量由微機(jī)控制，減少了由于人為因素對(duì)焊接質(zhì)量的影響，既上升了工作效率，又能得到品質(zhì)高的焊縫。
（三）現(xiàn)場(chǎng)安裝
1、高純氣體管道的現(xiàn)場(chǎng)安裝應(yīng)整潔干凈，安裝人員定要戴潔凈手套。
2、支架設(shè)置距離應(yīng)符合圖紙?jiān)O(shè)計(jì)要求，每個(gè)固定的點(diǎn)都套上EP管的橡膠套。
3、預(yù)制好的管子運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔(dān)上支架后，上管卡。
4、現(xiàn)場(chǎng)的管道焊接和預(yù)制階段管道焊接程序相同。
5、焊接完畢經(jīng)有關(guān)人員對(duì)焊口樣品及管道上的焊口檢驗(yàn)合格后，貼焊口標(biāo)簽，填寫焊接記錄。
（四）系統(tǒng)測(cè)試
1、系統(tǒng)檢測(cè)是高純氣體施工的一環(huán)，它是在管道壓力試驗(yàn)、吹掃結(jié)束后進(jìn)行。
2、系統(tǒng)測(cè)試使用的氣體先是合格氣體，氣體的潔凈度、含氧量、漏點(diǎn)及碳?xì)浠衔飸?yīng)符合要求。
3、指標(biāo)的檢測(cè)是通過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測(cè)量，管道里吹出的氣體合格了，說明這條管路指標(biāo)合格了。
材料
高純氣體管道按其流通介質(zhì)的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在上升了不銹鋼在氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則上升了不銹鋼在非氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既上升了鋼的耐腐蝕性，又上升了鋼的工藝性能。
